1.村田硅電容器的3D結構是如何形成的？

利用干法蝕刻技術的BOSCH工藝。BOSCH工藝是硅加工特有的技術，它可以讓通過SF6氣體進行蝕刻和通過C4F8形成保護膜高速重復，從而實現高縱橫比蝕刻。

2.村田硅電容器的結構是什么？

每種產品類型的標準硅電容器產品的結構如下所示

3.村田硅電容器的內部結構

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